第三种非热散逸称为光化学散逸，发生在火星上，土卫六可能也有。
相对于传统的灭菌方法来讲，利用常压低温等离子体灭菌有许多优点。
彗星或小行星撞击行星，会造成大规模的喷溅，相较之下，热散逸和非热散逸就像是涓涓细流一样微不足道了。
在非热逸过程中，由于化学反应或粒子与粒子之间的碰撞，原子因受到弹射而达到逃逸速度。
在非热散逸的过程，则是因为化学反应或带电粒子的作用而把原子和分子驱赶出去。
在包括现代地球在内的某些行星表面上，热逸过程还不够非热逸过程明显。
这些意味着微波除了致热作用外还有非热作用存在的可能性。