应用双频激光干涉仪和激光跟踪仪与该系统进行了测量数据比对。
为此特别研制了多倍程激光干涉仪系统,其具有较高的分辨率,能够满足纳米计量的需要。
用激光干涉仪对某一轴的运动精度进行了测量,指出了此时影响运动精度的因素。
采用室内双频激光干涉仪为计量标准,建立了一条高精度室内基线。
本文研究并建立了光栅外腔半导体激光干涉系统,可对远距离微小振动进行实时测量。
激光干涉太空探测器(LISA)是一个NASA与欧洲太空署的联合任务。计划于2025年发射。
使空间的口径测定能够在那相同的组合-向上的当做为形式测量,一个飞机-镜子激光干涉计有被增加。
基于分步式压印光刻的激光干涉仪纳米级测量及误差研究