在生产领域，激光可以用来钻孔、切割、连接、硬化以及进行表面改性和微加工。
将分层加工技术应用到微细电解加工过程中，显著改善了加工稳定性；
阵列单元的绝热结构设计以及器件的微细加工工艺是研制电阻阵列红外场景产生器的核心问题。
给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法。
表面微机械加工技术是实现单片集成微光学系统的一种新方法。
刃口可通过扭转、切割、磨削、机械加工、激光显微机械加工或喷钢砂处理形成。
微平版印术，显微机械加工，和微制作手册：卷一：微平版印术。
传感器性能的测试结果表明了微机械加工对提高传感器性能的重要性。
基于微细电解加工的特点，介绍了一种微细电解加工系统。
微结构气敏传感器是利用微电子、微机械和薄膜等技术制作的新一代气敏元件。
随着微传感器的广泛应用，微机械加工技术被越来越多地应用于传感器的制造工艺中。