平坦化
平坦化 (Planarization) —— 何立娟 2012-6-7 ? 1.平坦化基础理论 ? 2.传统平坦化技术 ? 3.CMP技术 2012-6-7 1.平坦化基础理 …
平坦化能力
...、低薄膜应力（low film stress）、高平坦化能力（planarization）、低热涨系数（coefficient of thermal expansion）以及与化 …
平面化技术
...技术和先进的专业制造技术，如先进的用于最小化波动的平面化技术（planarization），从而实现35mm全画幅2481万有效像 …
平坦化制程
...er)等之厚度，或是发展铝栓塞(Al-plug)及平坦化制程(Planarization)，以改善组件之电磁特性，并简化制造流程，降低本钱等。
平坦性
...充物（Dummy Filler）规则,来增加研磨 平坦性（Planarization）。
化学机械平面化
在这个应用中，CMP 被翻译成化学机械平面化 （Planarization） 。 背处理 在许多情况下， 只是晶圆的正面经过充分的化学机 …
平坦度
然而大平面的抛光需要顾及宏观的平坦度(Planarization),而其最困难的工作乃反映在抛光2012年即将登场的450 mm(18寸)的大 …