为获得用于表面应力测量的压阻悬臂梁传感器的参数的优化方法,建立了有限元分析模型。
本研究为设计一量测连接器夹持正向力的压阻感测器的电路。
目的建立非接触生命参数检测系统与压阻式加速度之间的数学模型。
介绍了介观压阻效应,其灵敏度比硅压阻效应高一个数量级。
我们用该方法计算了硅压阻式加速度传感器五阶梯硅梁固频和振型。
基于压阻效应、惠斯顿电桥等相关知识设计了一种压阻式微压力传感器。
于本研究中我们使用田口方法来设计一PID控制器以降低杂讯对压阻感测器的影响。
第二章详细论述了一种新型的微梁直拉直压硅微机械压阻式加速度传感器的工作原理。
设计并研制了一种机器人用高分辨率柔性阵列触觉传感器。
因此,这是一种先进的压阻式硅微机械加速度传感器设计和制造方法。
扩散硅的压阻系数是温度的函数,所以压力传感器存在温度漂移。
非接触生命参数检测系统-压阻式加速度传感器数学模型的建立